印制電路板中主要用于多層硬板、軟性電路板、軟硬結(jié)合板去鉆污（膠渣），激光鉆孔后孔內(nèi)碳化物處理，聚四氟乙烯印制板孔金屬化前的孔壁活化、涂覆前的板面活化等處理。
微電子、光伏產(chǎn)業(yè)主要用于LED芯片、支架清洗，祛除有機(jī)物和顆粒物；COB金線(xiàn)綁定前處理；IC方面BGA、Wafer表面清潔；LCD涂導(dǎo)電膠前處理；太陽(yáng)能光伏、液晶玻璃中基板清潔；高分子材料改性；金屬表面氧化物祛除。
醫(yī)療行業(yè)中培養(yǎng)皿處理、醫(yī)療器械消毒等等..............
設(shè)備構(gòu)成：真空發(fā)生系統(tǒng)、人機(jī)界面、電氣控制系統(tǒng)、真空腔體、系統(tǒng)集成水冷卻系統(tǒng)、等離子發(fā)生器、機(jī)柜等幾部分。
單次處理時(shí)間：15~30分鐘。
人機(jī)界面：臺(tái)灣研華工控。
系統(tǒng)執(zhí)行元件：
1、氣路元件：日本SMC、德國(guó)FESTO、美國(guó)AMISCO。
2、氣體質(zhì)量流量計(jì)：日本HORIBA、德國(guó)HKC、美國(guó)洛蒙斯特、ABB、艾默生。
3、電路控制：瑞士ABB，德國(guó)施耐德，日本三菱、德國(guó)西門(mén)子。
4、真空管路：全306不銹鋼、硬質(zhì)合金鋼。
5、高頻功率管：德國(guó)西門(mén)子。
操作模式：自動(dòng)、手動(dòng)。
工藝氣體通道：標(biāo)準(zhǔn)4路。（可定制）
等離子發(fā)生器：40KHz高頻電源、美國(guó)MKS13.56MHz射頻電源。
真空機(jī)組：日本愛(ài)發(fā)科油式真空機(jī)組、英國(guó)愛(ài)德華干式真空機(jī)組、德國(guó)普發(fā)真空。
型號(hào)HRS-VP-60L
腔體尺寸：長(zhǎng)X寬X高=400mmX400mmX400mm
腔體容積：60升
型號(hào)HRS-VP-200L
腔體尺寸：長(zhǎng)X寬X高=600mmX600mmX600mm
腔體容積：200升
型號(hào)HRS-VP-450L
腔體尺寸：長(zhǎng)X寬X高=800mmX700mmX800mm
腔體容積：450升
型號(hào)HRS-VP-650L
腔體尺寸：長(zhǎng)X寬X高=1000mmX900mmX700mm
腔體容積：650升